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第1845章 总装台上的光斑

硅片被移入场发射扫描电子显微镜的样品仓。

“抽真空完毕,开始扫描!”显微镜操作员高喊。

大屏幕上的图像被放大到十万倍,视野中呈现出一排排整齐绝伦的平行光栅线条!

边缘陡直如刀劈斧削,没有分毫毛刺!

“微观线宽测定中!”技术员的声音带上了颤音。

标尺从一百纳米飞速收窄。

九十纳米。

“跨过八十纳米门槛了!”沈研究员屏息低呼。

七十纳米。

最终,检测仪器的绿色方框死死锁死在一条坚不可摧的数值上。

六十五纳米!

“极限线宽,六十五纳米!”

“全视场波前透过率,百分之九十四点六!”唐国维激动得破音高呼。

孙院士颤抖着双手摘下老花镜,眼眶通红地凑近屏幕:“波前像差只有十五分之一波长!”

“透光率甚至超过了尼康同代商用机型整整三个百分点!”

“奇迹!这是咱们中国人自己的深紫外投影物镜!”老院士泪洒衣襟。

李建国率先用力鼓起掌来。

“我们成功了!”年轻的技术员们相拥高呼。

整个洁净大厅内爆发出海啸般的欢呼与掌声!

老工匠们把安全帽抛向半空,孟师傅抬手用粗糙的袖口抹去眼角泪花,笑得合不拢嘴。

“好!好一个赤乌破晓!”

李建国转过身,双手用力握住张红旗的手掌:“红旗,际华给国家工信战线立下了天大的功劳!”

张红旗神色平静而坚毅:“李司长,这是全国数百家配套单位与老技工合力的成果。”

“国家绝不会让拓荒者孤军奋战!”

李建国从公文包中郑重取出一份盖有鲜红印章的机密红头文件。

在全场院士与工匠的见证下,李建国大声宣读批复:

“科技部与信产部联合决定,正式立项深紫外光刻物镜国家高技术重大专项!”

“首期战略扶持直投资金,一亿五千万元整,即刻划拨到位!”

掌声再度雷动。

半小时后,北京半岛酒店套房。

“黑泽先生,东京急电!”助理慌张地推开套房大门。

传真机正发出刺耳蜂鸣,一张绝密撤退通牒被缓缓吐出。

黑泽宏一抓起传真纸,脸色惨白如纸。

东京尼康董事会紧急决议:“鉴于华夏自主投影物镜通过国家级点亮验收,各项指标全面超越本司同类产品。”

“现有封锁策略彻底失效,即日起撤回对华常规光学镜组出口禁运通牒。”

黑泽宏一双腿一软,失魂落魄地跌坐在地毯上。

日方谋划数月的绞杀暗网,在绝对的技术实力面前彻底土崩瓦解。

傍晚时分。

际华大厦顶层,落地窗外晚霞如锦。

办公桌上的红色保密电话响起,传出克劳斯带着德语口音的声音:“张,欧洲有重大变动!”

“克劳斯,慢慢说。”张红旗端着清茶。

“阿斯麦与蔡司已经获悉了燕山点亮的消息,他们放弃了传统干式光刻架构。”

克劳斯语速飞快:“欧洲巨头认定干式光刻在四十五纳米是物理极限,他们正在悄悄测试一种全新方案!”

“什么方案?”张红旗问。

“浸润式光刻!他们在透镜与硅片之间注入了去离子纯水,利用水的高折射率缩短等效波长!”

“简报发过来了吗?”

“加密传真刚刚发送,您看最后一张草图!”

电话挂断。

加密保密传真机发出一阵轻微震颤,纸页从滚筒中缓缓滑落。

黑白打印的欧洲简报末尾,印着一张手工绘制的水滴折射原理草图。

草图旁边写着一行法文小字:“光在水中的速度,改变了规则。”

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