众人换上全封闭防尘服进入黄光超净间,五百纳米防紫外黄色荧光灯散发着温润光晕,新风系统轻微嘶鸣,中央步进式光刻机与旋涂机静静伫立。
唐国维站在涂胶机主控屏前,戴好防静电橡胶手套:“各单元注意,准备上机。”
随行韩籍技术员靠向冷水机,右手探入衣袋,拇指反复按压遥控器。
然而温控读数纹丝不动,稳稳停在二十点零度。
“怎么回事?怎么一点反应都没有?”技术员额头渗出冷汗,在兜里死命按动按钮。
唐国维看在眼里,朗声下令:“启动太行零一号光刻胶中试涂覆!”
“设备自检完成!”副手高声汇报。
“放片,开启激光对中与真空吸附。”唐国维吩咐。
“吸盘压强负八十千帕,锁定正常!”副手迅速应答。
八英寸高纯单晶抛光硅片平稳吸附在旋转托盘中央,机械舱门徐徐闭合。
唐国维手持精密微量注液器,从恒温瓶抽取两毫升金色母液。
“注液就位。”唐国维沉稳发令。
一滴晶莹剔透、泛着纯净琥珀微光的黏稠液体,稳稳落在镜面中心。
“张总,准备起旋。”唐国维转头看向张红旗。
张红旗沉声道:“拉到四千转,走!”
“起转!”唐国维按键启动。
超高速无刷电机骤然发出尖锐蜂鸣,托盘疯狂旋转,强大的离心力将琥珀色树脂如水银泻地般推向四周。
崔在勋双眼死贴防爆视镜,屏息等待胶体飞溅。
然而,视镜内的景象让他脸上的得意瞬间凝固。
金色液体平滑延展,无丝毫气泡与颗粒断层,在防紫外黄光折射下,薄膜由内而外泛起一圈圈炫目璀璨的镜面彩虹色晕!
“出彩虹膜了!”副手忍不住失声大喊。
“膜层极其平整,转速四千转稳定!”操作员同样激动高呼。
六十秒旋涂倒计时归零。
电机的蜂鸣渐渐消退,吸盘缓缓停驻。
整块八英寸硅片光洁如镜,均匀覆盖着一层澄澈胶膜,在黄光下反射出无瑕光晕。
“这……绝不可能!”崔在勋失声退后,“国产胶怎么可能有这种流动性?!”
张红旗冷然发令:“送入激光椭偏测厚仪,验数据。”
机械臂托起硅片,平稳滑入全自动检测仓,红光探针在九个基准点上飞速扫描。
不到半分钟,主控屏刷出一行行鲜绿的数据。
“报告!全片平均膜厚七百二十纳米!”技术员嗓门发颤。
“边缘偏差呢?”唐国维追问。
“偏差率万分之四!”
技术员大声报喜:“粗糙度零点二八纳米,无微孔无颗粒,达到军工特级标准!”
崔在勋面如土色,双腿一软,撞在身后的不锈钢工具架上。
“你们作弊!这是汉城流出来的走私胶!”崔在勋歇斯底里尖叫起来。
“死到临头还在嘴硬。”
唐国维将质谱报告甩在他胸前:“燕山刚出炉的逆向萃取母液,金属杂质零点八个ppb,比你们汉城货纯净两倍!”
崔在勋看着鲜红印章,浑身抖如筛糠。
嗤的一声,车间气闸大门放气泄压。
两名身穿便衣的国家安全执法人员大步迈入,目光森严如冰。
执法人员展开盖有鲜红印章的公函,亮在崔在勋面前。
“崔在勋代表。”
执法人员冷冷开口:“请跟我们走一趟,解释一下侵入国家战略设备与刺探军工机密的问题。”