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第五十章 成功

“镜头工作正常,透光率,清洁度,安装位置达到生产要求。”

“自检完成,核心组件运行正常。”

在韩阳运行自检程序的时候,所有人都紧张的盯着大屏幕看,看到自检系统提示,核心组件运行正常的时候,所有人都松了一口气。

然后,所有人都看向了伯灵院士。

“测试组,安装硅片!”

“安装测试掩膜!”

在测试组的紧张工作下,所有准备工作完成。

伯灵院士又仔仔细细检查了一番机器的状态,最终对韩阳说,“韩阳,你来和我一起按下这个生产按钮!”

“好!”韩阳没有推迟,他大步来到伯灵院士身边,然后和紧张得浑身冒汗的伯灵院士,一起按下了红色的启动按钮。

顿时,一块硅片被传送装置送到中间的工件台上。

工件台将硅片位置固定后,工件台快速而又精准的移动到镜头的下方。

蓝紫色的光芒从镜头中照射而出,照射到硅片上。

每一次蓝紫色的光芒闪过,工件台就以极快的速度移动,速度极快,如同幻影一般。

很快,第一批加工好的硅片从机器的左边被传送出来,然后被机械手臂传送到下一台机器中进行显影,清洗,烘干等操作。

最终,经过一系列处理的硅片,被送到纳米级光学显微镜下观察。

显微镜观察到的画面,同步投影到大屏幕上。

科学院的几个专家全神贯注的看向大屏幕,足足看了十多分钟,科学院光电所的吴起院士声音中带着喜悦开口。

“光刻位置定位准确!”

“图形套刻准确,边缘整齐!界线清晰!”

“芯片图案清晰,无光晕,无皱褶,无重叠现象!”

“从光刻的角度来看,这块硅片的光刻完成得非常优秀。”

“ASML的光刻机制造的硅片,也只是这个水平。”

“当然,最终的结果要等这些硅片切割制作成为CPU后,测试cpu中的电路情况来定。”

“但我初步判断,这台DUV浸润式光刻机已经成功了!”

随着吴起院士的这句话,全场爆发出无比激动的掌声,所有人都在鼓掌,在欢呼。

“我们终于做到了!”

“我们再也不用仰仗别人的鼻息!”

“等我们的DUV浸润式光刻机量产,就是我们反攻的时候,不卖给我们,我们要让他们的光刻机烂在仓库中。”

“芯片问题,最关键的生产问题,终于被我们解决了。”所有人都很激动。

种花国在芯片产业上最大的问题,就是生产问题,只要解决了这个问题,就能迎来巨大的腾飞和发展。

李侍郎接过话筒,他的声音中也带着无法抑制的激动,“祝贺你,伯灵院士!祝贺你们,海上微电公司!你们开创了一个新的时代。”

“这次研制DUV浸润式光刻机成功,最核心、贡献最大,最关键的人是韩阳!”

“在这里,我由衷的感谢你的帮助!”李侍郎停顿了一下,当着众人的面,向韩阳鞠了一个躬。

其他人见状,也一脸认真的向韩阳鞠躬。

所有人都知道,没有韩阳提供的关键部件设计图,DUV浸润式光刻机根本就不可能搞出来。

“如果没有你的帮助,没有你提供的技术支撑,我们或许还需要5年的时间,才能将国产DUV浸润式光刻机研制出来。”

“你是DUV浸润式光刻机国产化的最大功臣!”

“你的名字,会被写入国家光刻机的发展史!你的贡献会被所有人铭记!”李侍郎无比郑重的承诺。

科学院的院士们,听到李侍郎的话后,眼神中全是羡慕,名字写入教科书,是他们的梦想。

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