这无异于从零开始!
也就是说,林凡不仅要解决最核心的五大难题,还要解决所有与之相关的问题。
也只有这样做,才能造出一台属于自己的高分辨力光刻机!
对此,林凡虽然有着一定的心理准备,但他也不得不承认,想要做到这样一件事情,难度丝毫不亚于建造一艘十万吨级的核动力航母!
好在林凡前世也曾参与过研制中子弹的项目计划,在那片一望无际的大漠之中,林凡磨练出了远超常人的意志与魄力,尽管他仍会对某些事情感到棘手,但从那以后,他再也不曾轻言放弃。
这是他们那一代的科研工作者们,共同拥有的一种精神!
手握笔尖,在纸随便写写画画了一阵子后,林凡在脑海当中,确定了自己要造的那台光刻机的大致轮廓。
想到卖家或许可以提供一份现成的光刻机设计图纸,以供参考,林凡当即拿起手机,给卖家发了一条消息。
【能不能发我一份宝贝的设计图纸?】
【亲,这个当然可以,你等我找一下,我这就发给你。】
过了一会儿,卖家就将那批7纳米的光刻机设计图纸,通过拍照的方式,发了过来。
得到那批光刻机的设计图纸之后,林凡粗略的对比一下,并在脑海当中稍微做了一些修改。
等到感觉差不多了,林凡重新铺一张白纸,将自己设想的那台光刻机的轮廓,简略的画了出来。
从外形看,像是一个方方正正的柜子。
但这只是完成了第一步。
相当于给自己想要设计的那台光刻机,打了一份底稿。
仅此而已。
接下来,林凡还要想办法解决那五大核心问题。
首先是一台大功率的激光器。
这里可以取巧,毕竟龙国科学界在激光领域取得的技术成果,也不算小。
但要如何将其转化成光刻机可以使用的大功率激光器,需要一定的创造力,以及一定的想象力。
林凡想了很久,觉得可以利用龙科院最新研发的激光武器,稍微做点修改,将其调整为光刻机可以使用的大功率激光器。
但这里还牵扯到另一个问题,那就是光源。
光刻机面使用的光源,大致可以分为四种。
第一种,可见光源,又名g线。
第二种,紫外光,又名i线。
第三种,深紫外光,又名krf。
第四种,极紫外光,又名euv。
前三种的光线分辨力都很差,大多都在200纳米到400纳米之间。
只有极紫外光可以达到5纳米以的光线分辨力!
“不行,得推倒重做。”
想到这里,林凡摇了摇头。
军用的大功率激光器,并不具备自己所需的光线分辨力。
苦思冥想了一阵子,林凡忽然意识到,龙科院之前研制的‘龙光源’,可以发出极紫外自由电子激光脉冲。
并且,单个皮秒激光脉冲,能够产生140万亿个光子。
以此稍微修改一下,做为大功率激光器,还是可以的。
然后是光罩,又名光掩膜版,或是掩膜版。
在制作集成电路的过程中,想要利用蚀刻技术,在半导体形成图形,并将图形复制在晶圆,就必须透过光罩。
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