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第48章 秘密研究所基地!

一名中年男子站了起来,将电脑投屏到会议室的大屏幕,只见面写着光刻机曝光系统几个大字。

“楚工,我负责光刻机的曝光系统,其中最核心的部件之一紫外光源在楚工之前提出的办法下,我们已经完美的解决了。”

“紫外光源采用的是高压弧灯光,也就是高压汞灯,高压汞灯有许多尖锐的光谱线,经过滤光后,我们使用的是其中的g线或i线……”

“对于波长更短的深紫外光光源,我们使用的是准分子激光,例如ArF准分子激光,KrF准分子激光和F2准分子激光……”

“根据我们的测试,目前的曝光系统的曝光能量已经可以均匀的分部在曝光区域,做到平滑衍射效应、实现均匀照明、绿光和冷光处理,实现强光照明和光强调节等功能。”

听着对方的汇报,楚辞点了点头。

两年前,面给他下达了一个任务,那就是研发出最新型的光刻机。

目前蓝星全球范围内,最好的光刻机可以达到5nm,而炎国最好的光刻机只能实现7nm精度,看似差距不大,但却是天差地别。

所以这个任务就落到了楚辞的身,楚辞也没有反对,反而接手了这个任务。

之后的两年时间中,除了偶尔会离开基地,回到学校,他基本都在基地之中和这些同事做相关的研究。

两年的时间过去,个月的时候,光刻机的研发进度取得了巨大的突破,楚辞这才将基地交给了唐宏,自己则去京华大学当校长去了。

虽然他当了女儿楚瑶十几年的校长,实际他很少会在学校,大部分时间要么在沙漠,要么在研究基地之中。

所以对女儿最后的大学生活,他不想缺席。

可正值光刻机研发最后阶段,面自然不会同意他去当校长,无奈之下楚辞只能交给面一套火箭设计图纸,面才算答应下来。

“楚工,我负责光刻机的光路系统……”

“楚工,我负责光刻机的电控调焦系统……”

“楚工,我负责光刻机的激光器控制系统……”

会议室中,一名又一名的研究人员将自己负责的部分进行了汇报,楚辞全程静静的听着,偶尔也会提出问题,汇报的研究人员也会给予回答。

花了一个多小时,楚辞才听完了所有的汇报工作。

“我不在的这段时间,大家做的很好,目前光刻机的所有准备都已经完成,并且完成了组装,大家回去之后再仔细的检查一下,三天后我们就进行第一轮的测试。”

楚辞看着众人笑道。

……

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